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金屬碼盤蝕刻中側蝕率如何控制

文章出處:常見問題責任編輯:東莞市鑫海森不銹鋼制品有限公司 發表時間:2025-05-28

一、側蝕率定義與影響?

計算公式?:側蝕率 F=A/HF=A/H(A為側蝕量,H為蝕刻深度),直接影響碼道寬度精度。

典型值?:精密碼盤要求側蝕率<10%,高精度應用需<5%。

二、控制側蝕率的核心措施?

1、蝕刻液優化?

成分選擇?:采用氯化銅-氨水-過氧化氫體系(PH 8.2±0.1),相比FeCl?可降低側蝕率30%。

溫度控制?:保持40~50℃(銅材)或20~30℃(不銹鋼),溫度每升高10℃,側蝕率增加15%。

2、工藝參數調整?

噴淋方式?:下噴式優于上噴,溶液交換速率快,側蝕量減少20%~40%。

時間控制?:動態監測蝕刻深度,達到目標后立即終止(如銅箔1μm/30秒)。

3、掩膜技術?

抗蝕膜升級?:使用APR-7300干膜(厚度12μm),抗化學滲透性提升40%,減少側蝕擴散。

硬烘工藝?:120℃后烘增強掩膜附著力,降低邊緣剝離風險。

三、設備與監控改進?

噴淋均勻性?:噴嘴擺動+壓力分區調節(板邊緣壓力降低10%~15%),改善蝕刻均勻性。

實時反饋系統?:氧化還原電位(ORP)監測蝕刻液活性,自動補充有效成分。

四、特殊材料處理?

薄銅箔(≤1/2盎司)?:降低噴淋壓力至0.8~1.2MPa,避免機械損傷加劇側蝕。

不銹鋼碼盤?:添加緩蝕劑(如苯并三氮唑),抑制橫向腐蝕。

五、效果驗證?

通過上述措施,某案例顯示:

側蝕率從12%降至4.5%,碼道寬度誤差從±0.015mm縮小至±0.006mm

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